Beschrijving
V dannoj rabote priwedön analiticheskij obzor otechestwennoj i zarubezhnoj literatury po metodu suhogo wakuumnogo trawleniq materialow, predstawlen obzor primenqemoj metodiki issledowaniq. V rabote predstawleny rezul’taty optimizacii processow reaktiwno-ionnogo plazmennogo i ionno-luchewogo trawleniq passiwacionnyh sloöw integral’nyh mikroshem w ramkah tehnologii analiza otkazow. V organizacionno-äkonomicheskoj chasti predstawleny raschöty stoimosti i celesoobraznosti dannyh issledowanij. Rezul’tatom prowedönnoj raboty stala nowaq metodika udaleniq passiwacionnyh sloöw integral’nyh mikroshem w ramkah tehnologii analiza otkazow, otlichaüschaqsq ot suschestwuüschih wysokoj stepen’ü planarizacii powerhnosti kristalla integral’noj shemy pri minimal’nom powrezhdenii mezhslojnogo diälektrika.
